AHI Journal技術名詞庫
加權指數49301.96−11.48成交金額8439.31 億元−505.91 億元櫃買指數427.90+1.19外資買賣超−521.98 億元−521.98 億元投信買賣超+71.41 億元+71.41 億元自營商買賣超−142.94 億元−142.94 億元三大法人合計−593.51 億元−593.51 億元外資台指期淨部位−82806 口+388 口集中市場融資餘額6533.30 億元+69.24 億元布蘭特原油期貨106.65 美元/桶+1.93 美元
技術世代
光罩護膜
- DUV 有機護膜
- EUV 無機護膜
它是什麼
示意圖局部
EUV 光罩護膜是架在極紫外光（EUV）光罩上方幾公釐處的極薄保護膜，用來擋住落下的微粒；微粒落在離光罩有一段距離的薄膜上，曝光時對不到焦，就不會被印到晶圓上。
怎麼運作
- 護膜以框架固定在光罩上方，微粒只會落在薄膜上；因為和光罩表面有距離，曝光時不會清楚成像。
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- 怎麼運作其餘 2 點
- 為什麼最近常被提到
- 和舊做法比
- 量產難在哪
- 在供應鏈的哪一段、相關公司
