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技术名词库

High-NA EUV

整理日期 2026-10-13・依公开信息整理・示意图非实际尺寸・不是投资建议

它是什么

示意图局部

High-NA EUV是新一代高数值孔径极紫外光微影技术,数值孔径(NA,光学系统收集与聚焦光线的能力)由现行的 0.33 提升至 0.55,能在晶圆上雕刻出更细微的电路图案。

怎么运作

  1. 使用波长仅 13.5 纳米的极紫外光作为曝光光源。
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