AHI Journal技术名词库
加权指数49301.96−11.48成交金额8439.31 亿元−505.91 亿元柜买指数427.90+1.19外资买卖超−521.98 亿元−521.98 亿元投信买卖超+71.41 亿元+71.41 亿元自营商买卖超−142.94 亿元−142.94 亿元三大法人合计−593.51 亿元−593.51 亿元外资台指期净部位−82806 口+388 口集中市场融资余额6533.30 亿元+69.24 亿元布兰特原油期货106.65 美元/桶+1.93 美元
技术世代
光罩护膜
- DUV 有机护膜
- EUV 无机护膜
它是什么
示意图局部
EUV 光罩护膜是架在极紫外光（EUV）光罩上方几公厘处的极薄保护膜，用来挡住落下的微粒；微粒落在离光罩有一段距离的薄膜上，曝光时对不到焦，就不会被印到晶圆上。
怎么运作
- 护膜以框架固定在光罩上方，微粒只会落在薄膜上；因为和光罩表面有距离，曝光时不会清楚成像。
🔒 完整技术说明在订阅版
- 怎么运作其余 2 点
- 为什么最近常被提到
- 和旧做法比
- 量产难在哪
- 在供应链的哪一段、相关公司
